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弗萊貝格X-ray Diffractometer
點擊次數:1658 更新時間:2021-05-12

弗萊貝格X-ray Diffractometer
使用X 射線衍射儀XRD  進行晶圓棒,晶圓片及晶錠的生產質量控制
晶棒定向 |  晶圓片分析|  石英片 分選
定向:
AT | SC | IT | TF | X | Y | Z

弗萊貝格X-ray Diffractometer
 

Quartz XRD的特點:

 檢測速度: 2 s (AT quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 標準偏差
空間分辨率: 1 mm ± 0.1 mm
› 測定相對于樣品的取向傾角
› 自動顯示角度分量(Theta & Phi) ,包括標準偏差

德國工藝: 穩健及模塊化設計
› 軟件: 易于使用的軟件套件與多個用戶級別。自動顯示、記錄和報告測量數據
› 自動化: 定制不同規格的晶圓片或blank的樣品處理系統,包括機器人,取放,振動分揀機

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